具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求高。净化工程在设计时,无论是新建还是重新改造的净化车间,都一定依照相关标准、规范进行。
净化车间的净化方式都包括哪些呢?
物理净化方法
1 吸附过滤即活性炭:活性炭是一种多孔含碳材料,具有高度发达的孔结构,活性炭的多孔结构为其提供大量的表面积,能与气体(杂质)完全接触,这使得活性炭具有吸附性能,很容易达到吸收和收集杂质的目的。像磁力一样,所有分子之间都具有相互吸引力。
2 机械过滤:hepa网,中文意思是空气过滤器,达到hepa标准的过滤网,对于0.3微米的有效率达到99.998%,hepa网的特点是空气通过,但小颗粒不能通过。hepa过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜组成,以形成用于放置和支撑过滤边界的波状垫片。
排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化车间设计时,要根据实际情况选择。要说净化工程在发展的前景方面,形势还是---的,市场需求更是一片大好。因为我们的制药、电子信息等行业都在迅速发展,空气净化工程,所以对净化工程行业的发展起到了带动的作用。在这里需要提醒大家的是自从我们的---方面的改革条文----2010发布之后,既推动了生物医药和食品化工行业的发展,也间接的推动了净化工程行业的发展。而且相关方面的政策支持也让净化工程行业的发展机遇推到了极1致。压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
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