无尘车间的原则:
无尘车间里存在大量可以节约能源的地方,例如暖气、通风和空调(hvac)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 hvac系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及hvac的容量过剩,很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径,尽可能地压缩前期投入,无尘室净化工程,而不顾后期运行费用。高1效率的设计和高1效率设备需要很大的前期投入。
由于无尘车间是密闭性很强的修建,其安全分散成为十分重要和---的问题,和净化空调体系设置也有密切关系。一般应留意以下几点:
1)每一出产层防火区或无尘区至少设2个安全出口,只要面积小于50㎡,人员少于5人时,可答应只设一个安全出口。
2)进口不应作分散出口。由于道路往往迂回曲折,一旦焰火迷漫,要求人员很快跑到室外是很困难的事。
3)吹淋室不能作为一般收支通道,淮北无尘室,由于这种门常为两扇联锁或主动,一旦呈现毛病,十分影响分散,所以一般均在吹淋室设旁通门,作业人员多于5人时有---设此门。平常作业人员出无尘车间时不应走吹淋室而应走旁通门。
无尘车间开启空调系统时,无尘室工程,
如果空调系统本身是有消毒装置和净化装置的,在---期间应打开运行。空调通风系统为全空气系统时,应当关闭回风阀,采取全新风方式运行,新风应直接取自室外,新风采气口及其周围环境必须清洁。同时要---排风系统正常运行。应加强对复工人员的健康管理,人员进入无尘车间时,再次对员工进行体温检测,体温正常并佩戴符合要求的口罩方可进入。
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